日本 acxys 等离子体设备ULCoat系列 氨法脱硫设备

日本 acxys 等离子体设备ULCoat系列

通过在放电后向等离子体中注入前驱体，ULCoat系列可以在处理过的表面上沉积薄膜。

ULCoat是一款可将前驱体汽化并注入等离子体中，后由喷嘴完成薄膜沉积的系统。ULCoat系列需要与ULS OMEGA系列配合使用。
ULCoat系列的标准版本是为了允许使用有机金属作为前驱体进行氧化硅（SiOx）的沉积而设计的。当然，我们也可以根据要求开发其他薄膜成分。
您可以与我们的研发实验室合作，在研发合同的框架下，定制您的专属解决方案。

ULCoat系列技术特点

• – 与ULS OMEGA系列搭配使用

• – 薄膜沉积

• – 沉积厚度范围从50至1000纳米

• – 沉积薄膜厚度均匀（+/- 2%）

• – 中高处理速度可达200nm.cm?/s

• – 专为氧化硅(SiOx)的沉积进行优化

喷嘴

在注入等离子体之前，液态前驱体的流速是可以控制的。该模块由几个部分组成。

• – 前驱体储存罐

• – 前驱体流量控制单元

• – 气体流量控制单元

• – 加热器模块（可选）

直观的数字触控屏

• – 内置触摸屏（OEM版本除外）

• – 直观的控制方式

• – 多语言界面

• – 故障检测和诊断

• – 实时显示指令

适用气体

• – 空气

• – 氮气

• – 其他混合气体

日本 acxys 等离子体设备ULCoat系列

ULCoat系列的优势

• – 工作温度低

• – 沉积薄膜厚度均匀（+/- 2%）

• – 可以研究其他类型的沉积

• – OpenFlow版本可用于开发新的沉积工艺